Ausschreibung Lieferleistung Laborausstattung in Teltow

Bekanntmachung UVgO: Hochpräzises Ionenstrahl- Ätz- und Poliersystem zur Artefaktfreien Präparation von TEM und REM Proben mit Ionenquellen.
Vergabenummer: Text freischalten 2026/07-51605
Bezeichnung Hochpräzises Ionenstrahl- Ätz- und Poliersystem zur Artefaktfreien Präparation von
TEM und REM Proben mit Ionenquellen
Art der Vergabe Öffentliche Ausschreibung
Vergabe- und
Vertragsordnung
UVgO
Art des Auftrags Lieferleistung
Auftraggeber: Adresse der zur Angebotsabgabe auffordernden Stelle
Bezeichnung Text freischaltenHelmholtz-Zentrum hereon GmbH, Kontaktstelle Vergabestelle, Text freischaltenMax-Planck-Straße 1, 21502 Geesthacht, TelefonText freischalten +49 4152870, FaxText freischalten +49 415287-1750
E-Mail Text freischalteneinkauf@hereon.de
Adresse der den Zuschlag erteilenden Stelle: Siehe "zur Angebotsabgabe auffordernden Stelle"
Stelle, die die Vergabeunterlagen abgibt oder bei der sie eingesehen werden können: Siehe "zur Angebotsabgabe auffordernden Stelle"
Auftragsgegenstand
Leistungsbeschreibung
Art der Leistung Präambel
Die Helmholtz-Zentrum hereon GmbH (Hereon) ist eine gemeinnützige
Forschungseinrichtung und eine der 18 Mitgliedseinrichtungen der Hermann von
Helmholtz-Gemeinschaft Deutscher Forschungszentren e. V. Die Aufwendungen
des Hereon werden zu 90% vom Bund (BMFTR - Bundesministerium
für Forschung, Technologie und Raumfahrt) und zu 10% von den vier
Konsortialländern (Schleswig-Holstein, Hamburg, Niedersachsen und Brandenburg)
finanziert.
Die satzungsmäßige Aufgabe der Gesellschaft ist es, im multidisziplinären Verbund
Forschung und Entwicklung, insbesondere auf den Gebieten der Materialforschung,
der Küsten-, Klima- und Umweltforschung sowie der regenerativen Medizin zu
betreiben.
Leistungsbeschreibung
Gegenstand der Ausschreibung ist ein Hochpräzises Ionenstrahl- Ätz- und
Poliersystem zur Artefaktfreien Präparation von TEM und REM Proben mit
Ionenquellen
Es soll ein komplettes und modular aufeinander abgestimmte Equipment zur
physikalischen Enddünnung, zum Polieren und zur Oberflächenreinigung von
materialwissenschaftlichen Proben (Halbleiter, Metalle, Keramiken) für die
Transmissionselektronenmikroskopie (TEM) und Rasterelektronenmikroskopie
(REM) beschafft werden. Das Probenpräparationsequipment muss in der
Lage sein, die Proben mechanisch zu schneiden, diese vor zu dünnen und
schadensfrei bis zur Elektronentransparenz zu bearbeiten. Das System muss
explizit für die Artefakt- und Schadensschichtbeseitigung nach mechanischer Keil-
und Planarpräparation (z. B. mittels Teller-Poliersystemen wie z.B. Multiprep)
geeignet sein. Hierzu ist eine softwaregesteuerte, gradgenaue Sektorenaufteilung
(Strahlmodulation) zur Vermeidung von Halter-Sputtern zwingend erforderlich. Das
System muss über mindestens zwei unabhängige Edelgasionenquellen verfügen,
die einen kontinuierlichen Betrieb in einem Beschleunigungsspannungsbereich
von mindestens 100 V bis 8 kV abdecken. Zur präzisen Zielpräparation von FIB-
Lamellen ist ein motorisierter X,Y-Verschiebetisch mit einer Genauigkeit von
mindestens 0,5 mm zwingend erforderlich. Die visuelle Endpunkterkennung
muss über ein integriertes Digitalmikroskop mit direkter Software-Anbindung zur
Bildspeicherung erfolgen. Alle Funktionen sollen benutzerfreundlich und einfach
über ein Touchdisplay bedienbar sein.
Die Artefaktfreie Präparation von TEM- und REM- Proben muss technologisch
vollständig aufeinander abgestimmt sein und eine lückenlose, standardisierte
Prozesslinie bilden. Sie müssen als geschlossene, validierte Prozesskette zur
sequentiellen Probenpräparation einsetzbar sein. Die mechanischen Aufnahmen,
Probenhalter und Transportmedien müssen untereinander sowie mindestens
mit den marktüblichen TEM-Probenhaltern (3 mm Standarddurchmesser) ohne
Modifikation kompatibel sein. Ein kontaminations- und beschädigungsfreier Transfer
der Proben zwischen den einzelnen Präparationsschritten (Trennen, Schleifen,
Mulden) muss prozesssicher gewährleistet sein. Alle Komponenten müssen
als geschlossene Systemlinie desselben Herstellers angeboten werden oder
nachweislich über herstellerübergreifende, standardisierte Schnittstellen verfügen,
die einen nahtlosen Workflow ohne Medienbruch garantieren.
Ionenquelle
o Mindestens zwei unabhängig voneinander justierbare Penning-Ionenquellen
die Massenstromregler nutzen, um entweder schnelles Fräsen oder langsames,
präzises Ionenpolieren zu ermöglichen
o Motorisierung der Ionenquellen, steuerbar und speicherbar über die
Benutzeroberfläche zur Sicherstellung von Kopien und Wiederholungen und deren
automatisches Ausführen
o Die Ionenkanonen sollten in einem Winkel von 120° zueinander eingestellt
werden können
o Möglichkeit der Nutzung von nur einer Ionenquelle separat und beider
Ionenquellen gemeinsam oder keiner
o Kontinuierlich und in feinen Schritten regelbare Ionenstrahlenergie in einem
Bereich von 0,1 bis mindestens 8,0 kV
o Stufenlos einstellbare Fräswinkeleinstellung unabhängig voneinander für beide
Kanonen in einem Bereich von mindestens +10° bis -10°
o Keine verbrauchbaren Teile direkt an den Ionenquellen
o Ausgelegt für den Betrieb von mehreren Ionenarten, darunter hochreinem Argon
und Xenon
o Möglicher variabler Strombereich wählbar von 0 bis 100 µA
o Direkte Messung der Ströme an den Ionenquellen (für jede Kanone unabhängig)
o Ionenstromdichte von mindestens 10 mA/cm2 um schnelle Abtragraten zu
gewährleisten
o Die Strahlbreite an der Probe darf für Standardkanonen nicht größer als
400?m FWHM und für Breitstrahlkanonen nicht größer als 850?m sein, der
Ionenstrahldurchmesser muss während des Prozesses stabil bleiben
o Möglichkeit zur programmierbaren Strahlmodulation (Sektorenätzung / Single-
oder Dual-Beam-Modulation) für die gezielte Bearbeitung einseitig montierter
Proben oder FIB-Grids
o Automatisch kalibrierte Gasdurchflussregelung zur reproduzierbaren
Ionenfräsleistung und Möglichkeit der manuellen Einstellung des Gasdurchflusses
und der Betriebsparameter
Umfang der Leistung Probenbühne und Schleusensystem.
o Motorisierter oder hochpräziser mechanischer X-Y-Verschiebetisch zur
exakten Zentrierung der Zielregion (Region of Interest) im Rotationszentrum des
Ionenstrahls
o Motorisierte Probenrotation
o Integration eines Vakuum-Schnellschleusensystems oder einer
Schnellwechselkammer. Der Probenwechsel muss ohne vollständiges Belüften
der Haupt-Vakuumpumpe in unter 60 Sekunden durchführbar sein (Probe
ausschleusen, eine neue zu einschleusen und die Ionenstrahlen wieder zu starten
und zu fräsen)
o Integriertes Flüssigstickstoff-Kühlsystem
Dewar und Leitstab sollten sich das Hauptvakuumsystem teilen
6-8 Stunden Dewar-Kühl-Kapazität
Probentemperatur: mindestens -120 °C (±25 °C)
Elektronische Temperaturregelung: Mindestbereich von -180 bis +100 °C
Durchlichtbeleuchtung der Probe
Eingebauter Dewar-Heizer
o Das Schleusensystem soll auf Proben mit und ohne Probenkühlung optimiert sein
o Ausstattung der Probenbühne mit einem Encoder, auslesbar über den
Touchscreen
o Sektorfräsen im Bereich von 5 bis 90°, über Touchscreen verfügbar und
einstellbar
o Stufenlose und variabel Drehzahleinstellung von 1 bis 6 U/min (12 U/min durch
die inaktiven Sektoren bei Strahlmodulation)
Probenhaltersysteme
o Im Lieferumfang muss mindestens ein spezialisierter Probenhalter (z. B.
DuoPost-Halter, Klemmhalter oder funktionsgleich) enthalten sein, der mechanisch
mit Platten-Poliersystemen (z. B. MultiPrep) hergestellte Keilproben (Wedge-
Samples) und dünne Planarproben sicher und beschädigungsfrei fixiert
o Die Halterung muss so konstruiert sein, dass empfindliche Probenkanten oder
Trägerringe (z. B. Graphit, Kupfer- oder Molybdän) vor direktem, unerwünschtem
Ionenbeschuss geschützt sind, um Materialverschleppungen (Redeposition) und
Kontaminationen der Zielregion zu verhindern.
o Das Probenhaltersystem muss voll kompatibel mit der geforderten
Sektorenätzung (Strahlmodulation) sein, sodass die Ionenkanonen exakt synchron
zur Rotation des Halters ein- und ausgeschaltet werden können
o Die Halter müssen kompatibel zum integrierten Flüssigstickstoff-Kühlsystem sein
und bei Raumtemperatur einsetzbar
Probenbetrachtung und Überwachung des Ätzprozesses
o Ein digitales CCD-Bildgebungssystem mit mindestens 5 Megapixeln zur Echtzeit-
Anzeige auf einem Desktop-Computer. Das Kamerasystem wird von der Software
DigitalMicrograph® gesteuert
o Während des betriebs sollen Bilder aufgenommen werden können und
gleichzeitig die letzten mind. 10 Bilder angezeigt
o Probenbeleuchtung in Reflexion und Transmission mit regulierbarer Intensität am
Touchscreen
o Integriertes Digitalmikroskop mit einem Vergrößerungsbereich von 80x
o Insitu Beobachtung zu jeder Zeit ohne die Ionenquellen abzuschalten oder die
Proben auszuschleusen
o Integrierter Shutter um die Probe abzuschirmen zu können und um
Kontaminationen zu vermeiden
o Automatisches System zur Perforationserkennung (z. B. optischer
Lichttransmissionssensor), um den Prozess beim Erreichen der
Elektronentransparenz selbstständig zu erfassen und zu stoppen.
Vacuumsystem
o Das Vakuumsystem soll innerhalb des Gehäuses vollständig autark sein
o Vollständig trockenlaufendes, ölfreies Vakuumsystem bestehend aus
einer Vorpumpe (z. B. Membranpumpe) und einer leistungsstarken
o Basisdruck von mindestens < 6e-5 Torr
o Grunddruck der Probenkammer: < 5e-6 Torr
o Überwachung des Vacuums in der Probenkammer und der Backing line
Anforderung an Computerhard und -software
o Steuerung aller Parameter (Spannung, Winkel, Gasfluss, Modulation, Timer) über
einen integrierten Touchscreen (Mindestgröße 10 Zoll),
o die Betriebssoftware muss die Erstellung, Speicherung und das automatisierte
Abrufen mehrstufiger Bearbeitungsrezepte (Multi-Step-Milling) erlauben
o Fernzugriff auf das System ist über Netzwerkverbindungen möglich. Dies
ermöglicht die Kommunikation über den Systemstatus sowie das Stoppen,
Pausieren oder Starten eines Prozesses.
o Bilder sollen mindestens in den Formaten *.dm und *.tif gespeichert werden
Mechanische Probenpräparation
o Manuelles oder pneumatisches grat- und verformungsfreien Ausstanzen von
Scheiben aus weicheren Materialien wie Metallfolien oder Polymeren mit 3 mm
im Durchmesser und einer Dicke von bis zu 400 µm, ergonomische Handhabung,
feingeschliffene Stempel und Matrizen für saubere Schnittkanten
o Präzises, grat- und verformungsfreies Ausschneiden von Probenplättchen aus
spröden, harten oder leitfähigen Materialien (Halbleiter, Keramik, Mineralien,
Glas) unter Verwendung von Ultraschall-Vibrationen und abrasiven Medien,
integrierte Ausrichtoptik (Auflichtbeleuchtung) zur gezielten Platzierung des
Schnittbereichs auf dem Probenmaterial, auswechselbare Schneidwerkzeuge (für
Standarddurchmesser von 3 mm, sowie mindestens 4 weitere Größen und Formen
o Planparalleles Schleifen und Polieren zur beidseitigen, parallelen Dünnung
von Materialproben (Durchmesser 9 mm oder kleiner) auf definierte
Dicken (50 µm), Toleranz im Mikrometerbereich, Mikrometer-Polierkopf
zur exakten Probeneinspannung, einstellbarer Anpressdruck und variable
Schleifgeschwindigkeit für reproduzierbare Ergebnisse und minimalen
Probenbruch, inklusive erforderlicher Probenhalter, Montagematerial und
Verbrauchsmaterialien
o Mechanisches Vorverdünnen von Proben (z. B. 3 mm TEM-Plättchen) zur
Erzeugung einer kugel- oder muldenförmigen Vertiefung im Zentrum, präzise
Ausricht- und Zentriervorrichtung für exakte Positionierung, Mikrometergenaue
Tiefen- und Dickensteuerung der Schleif-/Polierposition, idealerweise mit
automatischer Endabschaltung beim Erreichen einer definierten Restdicke,
inklusive optischer Überwachungseinheit (Mikroskop/Kamera) zur visuellen
Kontrolle des Dünnungsprozesses sowie erstem Satz Poliertücher,
Diamantsuspensionen und Schleifscheiben
Definition von Schnittstellen für Stromanschluss
o Kompatibel mit vorhandenen einzeln abgesicherten 100/240 VAC at 50/60 Hz
Ans
Erfüllungsorte
Haupterfüllungsort
Bezeichnung Helmholtz-Zentrum hereon GmbH
Postanschrift Text freischaltenKantstraße 55
Ort 14513 Teltow
Fristen
Bezeichnung Datum, ggf. Uhrzeit
Frist zur Einreichung von Aufklärungsfragen (u.a.) 06.08.2026
Angebotsfrist 13.08.2026 12:00 Uhr
Zuschlags-/Bindefrist 28.08.2026
Wertung
Wertungsmethode der Vergabe
Wertungsmethode Wirtschaftlich günstigstes Angebot gemäß der im Anschreiben oder den
Vergabeunterlagen angegebenen Kriterien.
Lose
Etwaige Vorbehalte wegen Teilung in Lose, Umfang der Lose und mögliche Vergabe der
Lose an verschiedene Bieter
Die Vergabe ist nicht in Lose aufgeteilt.
Vergabeunterlagen
Bereitstellung der Vergabeunterlagen
Postalischer Versand Nein
Elektronisch Ja, mittels Text freischaltenVergabemarktplatz "VMP Brandenburg"
URL zu den
Auftragsunterlagen
Text freischaltenhttps://vergabemarktplatz.brandenburg.de/VMPSatellite/notice/
CXU1YYDYT12865GS/documents
Zusätzliche Angaben über
die Maßnahmen zum Schutz
der Vertraulichkeit und der
Zugriffsmöglichkeit auf die
Vergabeunterlagen
Angebote
Bedingungen für die Öffnung der Angebote
Beginn der Angebotsöffnung 13.08.2026 12:00 Uhr
Angebotsabgabe
Art der akzeptierten
Angebote
Elektronisch in Textform
URL zur Abgabe
elektronischer Angebote
Text freischaltenhttps://vergabemarktplatz.brandenburg.de/VMPSatellite/notice/
CXU1YYDYT12865GS
Zugriff auf Preisdokumente
bis zur manuellen
Freigabe während der
Angebotsprüfung/-wertung
sperren (Zwei-Umschlags-
Verfahren)
Nein
Eingabemöglichkeiten
zu Angebotspreisen für
Unternehmen innerhalb des
Bietertools sperren
Nein
Weitere Anforderungen an Angebote
Angebote sind in Form von
elektronischen Katalogen
einzureichen oder müssen
einen elektronischen Katalog
enthalten.
Nein
Forderung von Proben und
Mustern
Nein
Besondere Anforderungen zu Unterauftragnehmern
Die Namen der
Nachunternehmer
sind bereits bei der Angebotsabgabe anzugeben. Nein
Nebenangebote
Nebenangebote werden nicht zugelassen.
Verfahren/Sonstiges
Sonstige Informationen
Sonstige Informationen für
Bieter/Bewerber
Allgemeine Einkaufsbedingungen des Hereons
Bitte beachten Sie bei der Erstellung Ihres Angebotes die bei der Auftragsvergabe
ausschließlich geltenden Allgemeinen Einkaufsbedingungen (einzusehen unter:
Text freischaltenwww.hereon.de/AEB)[Stand: 02.04.2025]
Mit der Abgabe eines Angebotes erklärt der Bieter:

a) dass Ihm bekannt ist, dass abweichende oder weitere eigene

Vertragsbedingungen nicht zum Bestandteil des Vertrages werden und den
Ausschluss des Angebotes von der Wertung zur Folge haben kann,

b) dass von Ihm bei der Auftragsausführung die für Hereon geltenden rechtlichen

Verpflichtungen einhalten werden,