Ausschreibung Lieferleistung Laborausstattung in Berlin

PVD Clustertool (IZM-23.1) – PR889033-2590-P
1 Stück: PVD Clustertool Die PVD Anlage muss Metallabscheidungsanwendungen für Cu- bzw. Au-Barriere-/Seed-Schichten für TSV und RDL sowie Unterbump-Metallisierungslösungen (UBM) und Aluminiumschichten unterstützen. Sie muss eine gleichmäßige Bedeckung für Halbleiterwafer mit und ohne tiefgeätzte Durchkontaktierung ermöglichen. Darüber hinaus werden grundlegende Anforderungen an die Akzeptanz und Leistung der Anlagen, an die Reinraumumgebung, den Transport, die Installation und den Support gestellt (siehe Leistungsverzeichnis).