Ausschreibung Lieferleistung Werkzeugmaschinen in Berlin

1 Resist / Polymer Coater: - Automatisiertes Resist Processing System mit vier Nassprozessmodulen - Automatisiertes Handling für 200mm, 150mm und 100mm Sechs Hotplate-Module - zwei hohe Lösemittelplatten -Eine HMDS-Dampfplatte Optionale Features: - Muss in der Lage sein, Systemkonfigurationen/Software zu ändern, um Wafer zu verarbeiten, die aus einem Formmassenmaterial bestehen. Gesamtdicke bis zu 900µm Das System sollte in der Lage sein, Mold-Wafer zu handhaben und zu verarbeiten, wobei der Bogen dieser Wafer bis zu 2mm betragen kann - Möglichkeit, Kassetten mit weniger als 25 Steckplätzen zu laden und den Abstand zwischen den einzelnen Steckplätzen zu vergrößern - OPTIONS HANDLER für verzogene Wafer (2 mm Verzug eines 200 mm Substrats) - Die Software sollte den Anwender bei der Planung und Dokumentation der vorbeugenden Instandhaltung unterstützen und die Möglichkeit bieten, sie in ein lokales Netzwerk einzubinden - Das System verfügt über optionale Heizplatten mit hoher Verformung (d.h. die mit der