Ausschreibung Lieferleistung in Eggenstein-Leopoldshafen

Das zu beschaffende System ist für die Herstellung von 2D- und 2, -dimensionalen Mikrostrukturen vorgesehen. Diese Strukturen müssen ohne Maske auf Substrate belichtet werden, die mit photochemisch empfindlichen Resistenzen beschichtet sind. Aufgrund des Einsatzes in Forschung und Entwicklung muss das System ein hohes Maß an Flexibilität in Bezug auf die freie Parameterwahl sowie Kompatibilität mit einer Vielzahl von Substraten bieten. Deshalb soll ein Laser-Lithography-System for 2D and 2.5D structuring für das am Institut für Mikrostrukturtechnik am KIT – Campus Nord (Building 301 – Room 142) beschafft werden gemäß der beigefügten technischen Spezifikation (Anlage 01).