Ausschreibung Lieferleistung Optische Präzisionsgeräte in Ulm

Das ILM plant die Anschaffung eines Rasterelektronenmikroskops (REM) mit einem hochauflösenden fokussierten Ionenstrahlsystem. Ein solches System besteht aus einer Elektronenstrahlsäule und einer Ga-Ionenstrahlsäule in einer Vakuumkammer. Das REM kann als Elektronenmikroskop für die hochauflösende Abbildung sowohl leitender als auch nichtleitender Proben eingesetzt werden. Darüber hinaus sind beide Säulen (REM und FIB) so angeordnet, dass sich der Elektronen- und der Ionenstrahl in einem Punkt kreuzen. In diesem sogenannten Koinzidenzpunkt kann mittels des Ionenstrahls Material von einer Probe abgetragen werden, während der Materialabtrag gleichzeitig durch den Elektronenstrahl beobachtet und kontrolliert wird. Das System muss zusätzlich mit ToF-SIMS, Gasinjektionssystem (GIS), EDX- und STEM-Funktionalität ausgerüstet sein. Beschafft wird ein Neugerät oder ein neuwertiges Gebrauchtgerät mit neuen Verschleißteilen. Das Produktionsdatum des Gebrauchtgerätes darf nicht vor dem 01.01.2020 liegen. Innerhalb des A